工作台面

    Φ420mm

    平面度

    0.025mm

    垂直度

    2"

    回转精度

    主轴：±2"

    倾斜轴：±3"

    运动范围

    连续无限

    速率范围

    主轴：±0.001°/s~±1000°/s

    倾斜轴：±0.001°/s~±400°/s

    速率设置分辨率

    0.001°/s

    速率精度

    1°平均：0.2%

    100°平均：0.021%

    360°平均：0.001%

    速率平稳定

    同速率精度

    测角分辨率

    0.0001°

    定位精度

    ±2"

    重复精度

    ±1"

    角加速度

    ≮200°/s²